ホットプレート(液晶・半導体熱板)

液晶・半導体の製造工程での加熱・冷却。全てオーダーメイドにて製作対応

表面温度の均一性に優れ、高精度の平面度と表面粗さのフェースプレートをご提供。
液晶、半導体工程における加熱、冷却にご活用いただき、高い評価をいただいております。
高真空下のご使用にも対応致します。
ご要求に応じたフェースプレート材料と表面処理に対応致します。
※全てオーダーメイドにて製作対応いたします。

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丸型ホットプレート(大気中用)

液晶、半導体工程における加熱、冷却にご使用いただけます。
全てオーダーメイドにて製作対応いたします。

プレート材質アルミ材(ex.A5052,A5056)、Cu材、他
表面処理 アルマイト処理、無電解ニッケル処理、他
表面粗さMIN 0.8Ra
温度センサー PT100、TC(K)、他
外径サイズ~300φ用
厚みサイズ 通常30mm
電圧通常200V

サンプルデータ(300φHP)

常温・常湿・無風・無負荷状態での測定値です。
実際の使用条件により異なる場合があります。

制御温度 200℃ 300℃
温度均一性保証 R<1℃ R<2℃
平面度(昇温後) 0.05mm 0.1mm

丸型ホットプレート(真空中用)

プレート材質アルミ材を主体
表面処理 使用環境に応じて選定
表面粗さ0.8Ra以下
温度センサー シースタイプTC(K)、他
外径サイズ~300φ用
厚みサイズ 通常45mm
電圧通常200V

サンプルデータ(300φHP)

1×10 Pa真空チャンバー内・無負荷状態での測定値です。
実際の使用条件により異なる場合があります。

制御温度 300℃ 400℃
温度均一性保証 R<1.5℃ R<2℃
平面度(昇温後) 0.05mm 0.1mm

角型ホットプレート(大気中用)

プレート材質アルミ材を主体(ex.A5052)
表面処理 アルマイト処理、他
表面粗さ1.6Ra以下
温度センサー PT100、TC(K)、他
外径サイズ~2200×2500mm
厚みサイズ 通常50mm
電圧通常200V

サンプルデータ(1000×1100mmHP)

常温・常湿・無風・無負荷状態での測定値です。
実際の使用条件により異なる場合があります。

制御温度 200℃ 300℃
温度均一性保証 R<4℃ R<6℃
平面度(昇温後) 1.0mm 2.0mm

角型ホットプレート(真空中用)

プレート材質アルミ材を主体(
表面処理 使用環境に応じて選定
表面粗さ1.6Ra以下
温度センサー シースタイプTC(K)、他
外径サイズ~1000×1100mm
厚みサイズ 通常50mm
電圧通常200V

サンプルデータ(1000×1100mmHP)

1×10 Pa真空チャンバー内・無負荷状態での測定値です。
実際の使用条件により異なる場合があります。

制御温度 300℃ 400℃
温度均一性保証 R<8℃ R<12℃
平面度(昇温後) 1.0mm 2.0mm

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