クーリングプレート(熱冷却プレート)

寸法精度の高い熱冷却プレート

寸法精度の高い熱冷却プレートです。
カシメ方式熱板と同様にパイプから板への接触面積が大きく得られるため、熱伝導効率が高く、熱応答性がよい特徴があります。
半導体焼成後の冷却チャンバーの冷却など、必要仕様に応じてご提案いたします。
また、冷却媒体によるパイプ材質を選択することで腐食性の高い冷却プレートもご提案が可能です。

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製品例

基板などの冷却、装置外壁などシステムの冷却や温度管理に最適です。

表面処理 アルマイト処理、無電解ニッケル処理、他
外径サイズ 丸型 ~300φ用
角型 ~950×1100mm
厚みサイズ 10mm

製品例

冷却用パイプをプレートへ圧入しているため、冷却材のリークの問題がなく、パイプ材質の選択により耐食性の配慮が可能です。
また、パイプ端末へチューブ継手を用いることにより、配管接続が容易です。

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高い要求に対し経験と技術で最適なヒーターを提案します。様々な問題点に対し取り扱う製品を基に既製品にはないオーダーメードの新製品も製作することが可能です。

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